Micro-Electro-Mechanical Systems

Faculty

Faculty of Engineering and Computer Science

Version

Version 9.0 of 10/12/2020

Code of Module

11M1190

Modulename (german)

Mikrosystemtechnik

Study Programmes
  • Mechatronic Systems Engineering (M.Sc.)
  • Informatik - Verteilte und Mobile Anwendungen (M.Sc.)
  • Elektrotechnik (Master) (M.Sc.)
Level of Module

5

Responsible of the Module

Emeis, Norbert

Lecturer(s)
  • Emeis, Norbert
  • Ruckelshausen, Arno
Credits

5

Concept of Study and Teaching
Workload Dozentengebunden
Std. WorkloadLehrtyp
45Vorlesungen
Workload Dozentenungebunden
Std. WorkloadLehrtyp
30Veranstaltungsvor-/-nachbereitung
20Literaturstudium
35Hausarbeiten
18Prüfungsvorbereitung
2Referate
Recommended Reading

“Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen“; Ulrich Mescheder, Springer Vieweg 2004“Einführung in die Mikrosystemtechnik“; G.Gerlach, W.D?tzel, Hanser-Verlag 2006“Proze?technologie“; G.Schumicki, P.Seegebrecht, Springer-Verlag, 1991“Grundlagen der CMOS-Technologie“; T.Giebel, . Teubner 2002“Mikrosystemtechnik - Vom Transistor zum Biochip“; S.Büttgenbach,. Springer 2016

Graded Exam

Presentation

Duration

1 Term

Module Frequency

Only Winter Term

Language of Instruction

German